第428章 上门投靠 (1/4)

江州，启明防务技术研究院，地下二层。

光子工厂的基建工程正在疯狂推进。

为了隔离辐射，光源被安放在厚达两米的混凝土掩体中。而光刻机车间，在距离掩体50米之外的地方。

这意味着，这束宝贵的193nm激光，必须穿过一条长达50米的真空管道，经过至少8次反射，才能到达光刻机的曝光台。

第一次联调测试。

“光源功率：100w，发射！”丁院士下达指令。

掩体内的ssmb光源发出幽幽蓝光。

但在50米外的光刻机入口处，功率计的读数却让所有人倒吸一口凉气。

接收功率：0.5w。

损耗率：99.5%。

“光呢？”王海冰咆哮道，“99.5瓦的能量去哪了？被鬼吃了吗？”

“被镜子吃了。”张教授长春光机所拿着一片刚刚拆下来的反射镜，脸色惨白。

镜片中心，原本光洁的膜层已经发黑、起泡，仿佛被烟头烫过一样。

“林董，我们遇到了反射率灾难。”

“193nm光子能量太高。普通的铝膜反射率只有90%。经过8次反射，0.9的8次方，只剩下43%。”

“这还是理论值。实际上，镜片吸收了能量后发热，膜层结构破坏，反射率会进一步雪崩。”

“剩下的99.5瓦能量，全部变成了热，烧毁了我们的光学系统。”

林远看着那片废镜。

“我们需要更高的反射率。”

“多少？”

“99.9%。”张教授伸出三根手指，“少一个9，光就送不到。”

要做到99.9%的反射率，金属膜铝、银是不可能的，必须用全介质多层膜。

利用光的干涉原理，镀上几十层高折射率和低折射率交替的材料，让反射光叠加增强。

“材料选什么？”林远问。

“对于193nm，只能选氟化物。”张教授在白板上写下化学式，“氟化镧laf3做高折射率，氟化镁mgf2做低折射率。”

“但是，氟化物有个致命弱点应力大，易裂。”

“我们要镀60层膜，总厚度3微米。这层膜的内应力，足以把基底玻璃拉弯，甚至直接崩裂。”

实验室里，ibs镀膜机再次启动。

“第一炉，60层laf3\/mgf2。”

出炉。

“咔嚓。”

镜片还没拿稳，膜层就像干裂的土地一样，碎成了一片片鱼鳞。

“张力太大了。”张教授摇头，“膜层想收缩，基底不让崩了。”

“那就反向补偿。”林远提出了方案。

“在镜片的背面，也镀一层膜！”

“这层膜不需要光学性能，只需要它的应力与正面膜层相反且相等。”

“正面拉，背面也拉。两股力抵消，镜片就平了。”

这需要极高的应力控制精度。膜厚误差不能超过1纳米。

经过二十次试镀，报废了价值上千万的镜胚后。

终于，一片双面镀膜的反射镜，完整地走下了生产线。